半导体工厂AGV自动化物流|AGV小车控制系统

半导体工厂AGV自动化物流|AGV小车在半导体行业应用

     半导体行业物流的AGV小车控制系统是指在物料离线流转过程中用于降低人工操作程度的AGV硬件和软件系统,又包括信息自动化和物流设备自动化两个部分。信息自动化与工艺步骤的执行过程相关,包括制造执行系统(manufacturing execution system, MES)、信息通讯、工艺设备工作状态监测(用于工作程序和工艺过程管理)、物料识别和追踪等等。物流设备自动化通常和传统流水线,自动立体库,AGV小车等其他传送相关的执行器,包括如何将其运送到工艺设备端或者在不同的存储区域之间进行调度,以及晶片在工艺设备内部的传送(包括物料缓冲区,装载端口,晶片传送机械手臂等)。

     从整个工厂的角度来看,许多设备内部的自动化晶片传送部件也可以被定义为信息自动化系统中设备控制和管理功能的一部分。除了WIP自动传送外,AGV传送自动化也是传送系统自动化的一项内容,它已成为现代化半导体工厂自动化系统中最大的单项投资项目。米克力美通过过去几年的经验显示信息自动化可以大大推动产品成品率的提高,因为信息自动化可以大大提高设备管理水平、进行工艺数据收集和统计工艺控制、保证物流控制更加顺利,同时还可以提高物料送达的准确率,从而减少误操作和返工现象。此外,信息自动化还可以改善WIP的直观监控,实现实时调度AGV及人员,提高生产速度。经验证明对物流信息自动化进行投资可以增加附加价值。   

      过去,物流自动化的作用在于保证工艺设备有事可做,维持足够的WIP流向下一道工序并且使WIP顺利地传送到下一区域,通常采用人工传送和存储WIP的运作模式。Intrabay更加复杂的传送和存储则通过操作工人按照信息自动化系统的指示来完成,从而在合适的时间将合适的WIP传送到合适的设备上。现在一部分半导体企业已经启用有米克力美提供的AGV物流系统自动化取代了操作工人的长距离搬送。

      人工WIP处理已经被AGV自动化传送系统所取代,包括所有工艺设备之间的传送、存储和分发。AGV中控系统主要用于满足MES下一道工艺对加工物料的需求。此外,可以通过AGV控制软件对物料存储、管理和传送路线进行优化。现在的米克力美的AGV系统已经从上一代“下一道工艺步骤”响应系统发展到最大程度减少设备空闲时间、提高生产速度、缩短生产周期和实现生产目标的先进系统。

半导体工厂AGV自动化物流|AGV小车在半导体行业应用

       当然,存储货架需要增加额外功能-与设备之间的自动传送;此外,还要增加货架容量,用于取代intrabay WIP的存储。米克力美科技的AGV系统还增加了一种新型的运输工具-空中运输(OHT)小车,它可以将物料最快的速度直接传送到跨楼层区域。首先,系统将lot从工艺设备的装载端口转移到AGV小车上并传送到各区所在缓存货架上;然后,机械手将物料转移到设备内部,或装载到空中运输车(OHS)上;需要加工这个物料时,机械臂到货架自动调取该物料,将其运送到设备端并放置在设备的装载port上。

      这是一套高度机械化的物流传送系统,整个动作需要进行两点间的传送时,AGV装载车只能在指定的设备对接面工作,需要通过AGV中央系统将各个分离部分(设备, 货架 物料)的控制子系统联系在一起。传输只能局限于与传送动作相关的区域内,整个系统的传送速度固定准时。这种早期的AGV系统设计实际上是建立在早期工艺流程的基础上的,它必须根据设备的生产速度为各个系统分派AGV运输车,甚至AGV系统对工艺流程或其它异常事件做出快速反应,通知到负责人。

    米克力美AGV系统具有以下优点:

   ● 使WIP更加靠近工艺设备,缩短从存储货架到设备端的传送时间。
   ● 减小存储货架占地面积,省下空间放置更多工艺设备。
   ● 成本低,AGV不仅可以减少投资,而且可以减少占地面积、提高可靠性和取消定时保养维护。

      为了支持整体式AGVS、动态传送路线选择和存储,AGVS传输控制和物料控制系统必须具有正确分配任务、高效利用资源、动态平衡负载、持续检测与WIP相关的上百个参数并及时做出反应的智能功能。通过设备和设备系统的统一与整合,控制系统可以直观地显示和协调控制各个传输动作。通过动态控制AGV传输车位置,生产传输系统的各项资源可以得到最佳优化和利用。

     目前,米克力美科技正在加大力度研发第三代AGVS,第三代AGVS系统的评估必须依赖于复杂的模拟系统,通过模拟系统可以将AGVS与生产速度和生产周期连在一起。终端用户可以评估哪种自动生成的AGVS配送程序能够提供最好的功能和最好地与fab信息系统整合在一起。

 

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